機電商情網

手機觸屏版

上海伯東 射頻離子源 RFICP 380

起訂量: 1 臺
價 格: 面議
品牌: KRI
供貨總量: 100 臺
發貨期限: 面議
所在地: 上海
有效期至: 長期有效
最后更新: 2022-04-19 14:09
關注人數: 534
公司基本資料信息
伯東企業(上海)有限公司
     [誠信檔案]
聯系人 rachel(女士)    
會員[當前離線] [加為商友][發送信件]
郵件
電話
手機
地區上海
地址上海市外高橋保稅區希雅路33號17號樓B座3層,200131
您還可以:
  • 起訂量:
    1 臺
  • 品牌:
    KRI
  • 供貨總量:
    100 臺
  • 所在地:
    上海

價格貨期電議

上海伯東美國 KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層柵極設計, 柵極口徑 38cm, 提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, **大離子束流 > 1000mA, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應用.

KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:

1.       放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術提供高密度離子, 工藝時間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動匹配

2.       離子源結構模塊化設計

3.       離子光學, 自對準技術, 準直光束設計, 自動調節技術保障柵極的使用壽命和可重復的工藝運行

4.       全自動控制器

5.       離子束動能 100-1200eV

6.       柵極口徑 38cm, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應用

射頻離子源 RFICP 380 技術規格:

陽極

電感耦合等離子體
2kW & 1.8 MHz
射頻自動匹配

**大陽極功率

>1kW

**大離子束流

> 1000mA

電壓范圍

100-1500V

離子束動能

100-1200eV

氣體

Ar, O2, N2,其他

流量

5-50sccm

壓力

< 0.5mTorr

離子光學, 自對準

OptiBeamTM

離子束柵極

38cm Φ

柵極材質

鉬或石墨

離子束流形狀

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

38.1 cm

直徑

58.2 cm

鎖緊安裝法蘭

12”CF

上海伯東美國考夫曼 KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 220, RFICP 380 成功應用于 12英寸和 8英寸磁存儲器刻蝕機, 8英寸量產型金屬刻蝕機中, 實現 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蝕工藝, 適用于 IC, 微電子,光電子, MEMS 等**域.

1978 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. KRi 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD **域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

若您需要進一步的了解產品詳細信息或討論請聯絡上海伯東鄧女士分機134

聯系時請說是在機電商情網看到我的,謝謝!

 
优盈登录
<蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>